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适用于200 mm太阳能电池片的闭管扩散/氧化系统设计

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介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备,着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制.

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来源
《电子工业专用设备》 |2007年第5期|51-54|共4页
作者
钟华; 盛金龙;
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作者单位

北京七星华创电子股份有限公司,北京,100016;

北京七星华创电子股份有限公司,北京,100016;

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正文语种 chi
中图分类扩散;
关键词
闭管扩散; 太阳能; 设备;

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