2014年中国大陆13种主要半导体设备进口43.66亿美元

摘要

2014年1-12月中国大陆13种主要半导体设备进口14647台、43.66亿美元。制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装置、等离子体干法刻蚀机和分步重复光刻机等三种设备共进口1 578台、25.35亿美元,位居进口额的前三位。其中：制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装置进口10．11亿美元，占进口总额的23．2％，位居首位；等离子体干法刻蚀机进口8．45亿美元，占进口总额的19．4％；分步重复光刻机进口6．79亿美元，占进口总额的15．5％。