《电子工业专用设备》征订征稿启事

摘要

《电子工业专用设备》是由中华人民共和国工业和信息化部主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办,国内外公开发行的科技期刊。国家一级检索期刊,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录期刊,是万方数据资源系统数字化期刊群入网期刊。本刊是以报道国内外半导体设备为主,反映微电子制造前、后道的新工艺。