等离子镀的系统和方法

摘要

一个典型等离子镀的系统和方法被公布。该系统包含了一个真空室，真空室内设置了一根细丝，从而可以在细丝上获得沉积物。该系统也包括：在真空室内设置一个固定位置的平台，基体固定在该平台上；直流电源提供直流信号；一个能产生射频信号的射频发射器；一个可以将电偶直流信号和射频信号输送到基体上的导电路径。将电源与细丝联结，使得电流通过细丝时的振幅在细丝上产生热量使金属沉积物熔化。