18-冠醚-6对金属Co在化学机械抛光液中腐蚀的影响

摘要

在含双氧水(H_(2)O_(2))10 mL/L和氨三乙酸(NTA)20 mmol/L的溶液(pH=9)中分别加入0.5、1.0、1.5和2.0 mg/L的18-冠醚-6,研究了在弱碱性条件下18-冠醚-6对金属钴(Co)电化学腐蚀的影响。结果表明:随着18-冠醚-6质量浓度的增加,钴与氮化钛(TiN)的腐蚀电位差先降低后升高,当18-冠醚-6为1.0 mg/L时最低,而钴的腐蚀电流密度越来越小。通过扫描电镜(SEM)形貌表征和X射线光电子能谱(XPS)分析可以证实,18-冠醚-6的加入使钴表面的电化学腐蚀得到了有效抑制,显著改善了Co在化学机械抛光(CMP)后的表面状态。