控制图在识别TFT-GI层沉积过程波动中的应用

摘要

液晶产品的质量会受到关键质量特性的影响,稳定的过程质量特性能提升产品品质。本文讲述了TFT-LCD产品的非金属层GI层的特性,GI层厚度(简称:GI THK)的工艺过程波动,及如何应用控制图精准识别和定位异常波动。分析过程基于流程出发,基于工序特点,通过对大量数据的深入挖掘,充分应用控制图等统计工具进行流程诊断,来达到查找过程波动差异源的目的。