TFT-基板玻璃生产线通道空调设备的研究构想

摘要

随着对通道工艺认识的进一步深入，通道空调设备已经不再是以前认为的外围辅助设备了，现已上升到了工艺设备的层面，归到关键设备范畴。通道空调设备对稳定工艺环境、提升产品品位具有重要意义。文中综述了TFT-基板玻璃生产线通道空调设备使用现状及存在问题，提出了一种新的空气处理设备，并从设备结构、组成、控制原理及优缺点等方面详细介绍了该设备的研究构想。