绝缘层上锗(GOI)材料的表征测试

摘要

晶片键合技术已成为半导体器件制备中的一项重要工艺,目前广泛地应用于SOI(Silicon-on-insulator)、GOI(Germanium-on-insulator)结构以及硅基Ш-V族结构的制备,在硅基光电集成方面具有广阔的应用前景.本文采用键合技术结合智能剥离方法制备了绝缘层上锗(GOI)材料,并通过原子力显微镜(AFM)、扫描声学显微镜(SAM)、透射电镜(TEM)、以及X射线衍射(XRD)等对GOI的微结构进行了表征和分析.非破坏性的检测方法在键合质量检测上具有重要的应用价值,键合材料表征技术的进步,必将推动键合技术不断向前发展.