布局中国大陆市场FSI多层次清洗设备和服务提振生产能力

摘要

表面处理是半导体工艺流程中的必要步骤.从半导体生产流程的角度观察,表面清洗和半导体的生产正品率密切相关,晶圆表面若残留颗粒,会导致IC缺陷、降低IC正品率,同时也意味着成本的增加,因此,晶圆厂无不期望正品好的清洗技术、较低的成本和全面的服务,这些正是FSI所能提供的.