BNT-KBT-BT薄膜的制备及外场下电畴翻转

摘要

采用金属有机物热分解法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了0.85(Bi0.5Na0.5)TiO3-0.10(K0.5Bi0.5)TiO3-0.05BaTiO3(85BNT-10KBT-5BT)薄膜.通过X射线衍射仪、扫描探针显微镜(SEM)、压电力显微镜(PFM)等对薄膜的结构和外场下的电畴演变进行了表征及研究.结果表明,该薄膜微观结构主要由钙钛矿相和少量的焦绿石相组成,表面无明显裂纹和孔洞,其最大压电系数d33=150 pm/V;通过PFM观察到在电场作用下,其电畴可实现180°翻转,在力场作用下其电畴可实现90°翻转,并结合微观结构对电畴在外场下的演变机理进行了研究.该研究为铁电薄膜在MEMS中的应用提供了参考.