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集成电路三温测试数据在失效分析中的应用

         

摘要

在集成电路的失效分析中,测试数据有非常重要的作用.从集成电路的三温电性能测试数据出发,论述了电性能测试数据与集成电路基本元器件参数的关系,对理清分析思路和揭示集成电路失效的根本原因有一定的帮助.

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