A Novel Three-dimensional Microstructure Fabrication Method Based on Multilevel Imprint Lithography

著录项

• 来源
  《电子学报：英文版》 |2009年第4期|P.583-587|共5页
• 作者

  WANG Quandai; WANG Quandai; DUAN Yugang; DUA;

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• 作者单位

  State;

  Key;

  Laboratory;

  for;

  Manufacturing;

  Systems;

  Engineering,;

  Xi＇an;

  Jiaotong;

  University,;

  Xi＇an;

  710049,;

  China;

  State;

  Key;

  Laboratory;

  for;

  Manufacturing;

  Systems;

  Engineering,;

  Xi＇an;

  Jiaotong;

  University,;

  Xi＇an;

  710049,;

  China;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 基础理论;
• 关键词

  三维微结构; 压印光刻; 制备方法; 多级; 制造过程; 计算机视觉; 湿法刻蚀; 制造工艺;

  机译：三维微结构;压印光刻;制备方法;多级;制造过程;计算机视觉;湿法刻蚀;制造工艺;