248nm准分子激光旋转加工锥形孔试验

摘要

采用准分子激光对PMMA板进行加工,通过旋转台完成打孔,并探究多项参数对于微孔深度与锥度的影响。研究发现:在一定范围内,当脉动频率和单脉冲能量增加时,微孔的深度线性增加、锥度线性减小;旋转速度对于微孔的深度和锥度无太大影响;采用较大的三角形掩模加工微孔的锥度最佳。通过选择合适的掩模与参数,加工出的微孔比冲孔法效果更佳。