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制作微器件的超声电解复合微细加工基础研究

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提出一种制造MEMS微器件的新技术--超声电解复合微细加工;设计微细加工工艺系统,进行一系列微细加工基础工艺试验,验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性,展示了该技术在提高微细加工精度、效率、表面质量等方面的优势,研究成果对完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值.

著录项

来源
《电加工与模具》 |2006年第2期|56-59|共4页
作者
朱永伟; 吴冰杰; 云乃彰;
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作者单位

扬州大学机械工程学院,江苏扬州,250001;

南京航空航天大学机电学院,江苏南京,210016;

南京航空航天大学机电学院,江苏南京,210016;

南京航空航天大学机电学院,江苏南京,210016;

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正文语种 chi
中图分类电化学加工机床及其加工 ;
关键词
超声加工 ; 电解加工 ; 复合微细加工; MEMS器件 ; 试验研究;

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