用气动定值器稳定气浮平台

摘要

气浮平台是有效的隔震机构,对于隔离低频振动尤为有效,为其它隔震机构所望尘莫及。通常,气浮平台是由一个质量较大的平台及支持它的三个空气弹簧组成的。平台常用花岗石、大理石或铸铁制成。因此气浮平台广泛应用于精密测量、激光技术及其它精密机构技犬领域。为了使平台表面呈水平位置,需要分别地调整三个空气弹簧中的气压。之后,为保持其稳定的水平位置,要求空气弹簧中的气压保持恒定。这个问题成为气浮平台技术的关键。