深亚微米飞高测量的光电检测系统设计

摘要

基于光电传感原理,设计了用于深亚微米飞高测量的光电检测系统,采用前置放大和后级放大电路结合,设计高速高精度数据采集系统,介绍了系统控制交互界面.性能测试结果表明,该光电检测系统线性度、分辨率和动态频率均满足飞高动态测试的要求.