中科院CVD大块单晶金刚石合成技术获突破

摘要

中国科学院宁波材料技术与工程研究所以实现金刚石精密工具的国产化和产业化为目标，在化学气相沉积（CVD）单晶金刚石合成方面取得了突破性进展。研究人员从国产微波等离子体CVD设备设计改造着手，开发了高密度、高稳定性的金刚石沉积装置。与国外同类设备相比，其成本降低了70％。研究人员还自主开发了金刚石的生长工艺，通过对籽晶进行特殊处理，在制备过程中严格控制生长参数，实现了无色透明CVD单晶金刚石片的批量生产。