晶体传感器使扫描探测显微技术达到纳米级水平

摘要

美国加利福尼亚州的太平洋纳米技术公司（PNI）研制出品体传感器，该产品是高质量扫描探测显微技术（SPM）的关键。在晶体传感器上，图像探测器装在一个小的石英晶体振荡器的共振臂顶端。当成像时，振幅小于0.3nm，探测表面力小于0．3nN（纳牛），这样可确保形成高质量的清晰图像。在PNI的纳米R型和纳米I型扫描探测显微镜中都使用了晶体传感器。