佳能发布FPD曝光设备“MPAsp—H1003T”——实现2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光

摘要

佳能将于2018年10月下旬起正式发售FPD(FlatPanel Displayl曝光设备新品,型号为“MPAsp-H1003T”。该产品针对第8代玻璃基板尺寸■1研发,实现了运用2.0μm(L/S■2)的解析度对65英寸液晶面板进行一次曝光的技术。