超声曲面研磨研具的声学系统振动特性与试验研究

摘要

本文对超声曲面研磨研具的声学系统进行了研究,通过建立力学模型分析了曲面研具的振动机理,并对Al2O3工程陶瓷进行了超声振动研磨的试验研究.得出如下结论:(1)所设计的曲面振动研具本身的固有频率f＝22.078kHz.(2)将振动研磨声学系统中的变幅杆和曲面研具等效为两弱耦合振子,当不考虑阻尼时,研具局部共振,变幅杆与研具联接处为一位移节点.(3)在空载加超声的试验条件下,研具的振动频率为21.3125kHz时,比较接近其固有频率为20.078kHz,此时研具局部共振,振幅最大.