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朱宇波; 母志强; 陈玲丽; 朱雷; 李卫民; 俞文杰;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室;
中国科学院大学;
上海集成电路材料研究院;
高次谐波体声波谐振器(HBAR); AlN; 压电薄膜; 掺钪AlN; 机电耦合系数;
机译:AlN颗粒的添加对掺AlN颗粒的SiO_2基复合材料力学性能的影响
机译:AlN膜厚度和顶部电极材料对薄膜体声波谐振器器件特性的影响
机译:用于电致发光(EL)器件的改进的聚合物/有机材料的合成和光电特性。以鳞茎染料为发光材料的EL器件的性能
机译:AlN性能与基于AlN的FBAR特性之间关系的实验和理论研究
机译:体-异质结有机光伏器件的界面研究:对-氧化镍阳极中间层和盐酸处理的掺锡氧化铟阳极的性能影响和增强机理。
机译:微型器件-研究固态材料固有特性的另一种途径:半导体TaGeIr
机译:高性能AlN陶瓷材料的开发与组织设计研究。
机译:高功率紧凑型太赫兹真空电子器件材料和器件电子特性的基础研究。
机译:AlN晶体的表面处理方法,AlN晶体基质,具有磊晶层的AlN晶体基质以及半导体器件
机译:铝 - 钪复合材料,铝 - 钪复合溅射靶和制造方法
机译:从含钪材料中提取钪的方法
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