SC切石英晶体谐振器的等效电感一致性分析

摘要

SC切石英晶体谐振器是恒温晶振的核心器件,但生产中发现高频SC切石英晶体谐振器的等效电感存在与理论值偏差、一致性差的问题。该文提出了石英晶体谐振器等效电感的计算模型,并系统仿真了生产中可能影响等效电感一致性的因素。仿真结果表明,电极厚度、微调量和微调斑偏移对等效电感的一致性影响不大,而晶片的平行度是影响等效电感一致性的关键,该结论有助于提高SC切石英晶体谐振器的指标和一致性。