7.5cm 372×276象素a-Si TFT有源矩阵的优化设计及制作工艺研究

摘要

研究了7.5cm372×276象素a－SiTFT有源矩阵的优化设计理论，讨论了材料物理参数和器件结构参数时器件性能的影响，并对其制作工艺进行了系统研究。