Sol-gel法制备Al_2O_3复合膜的EPMA研究

摘要

研究采用 Sol- gel法成功地制备了一种新型的 Al2 O3- Si O2 - Ti O2 - Zr O2 复合陶瓷膜 ,其膜面平整 ,无宏观缺陷。利用电子探针微区分析 (EPMA)重点研究了膜的表面和膜与基体界面的化学成分及微观结构。并分析了修饰物添加剂对膜的形貌和性能的影响。结果表明 Ti O2 、Si O2 、Zr O2 掺杂对 Al2 O3膜起到了良好的修饰作用。