分离靶多弧离子镀Nb-Al合金薄膜及其热腐蚀行为

摘要

采用分离靶多弧离子镀技术，通过改变基片负偏压和分离靶弧电流 以及镀膜时间等参数，在３１０ＳＳ（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ）基片上制备了多种成分的 Ｎｂ１－ｘＡｌｘ （０．３８＜ｘ＜０．６４）合金薄膜。结果表明，选择适当的基片负偏压和分离靶弧电流可 制得所需成分的二元合金薄膜。对所制备的Ｎｂ１－ｘＡｌｘ薄膜，分别做了６００℃、９００℃ 的热腐蚀实验（低温热腐蚀和高温热腐蚀），热腐蚀实验表明，该薄膜具有较好的抗