用光探针法测量表面复合速率

摘要

通过系统的研究分析，建立了应用光探针的光电（ＰＣ）测量方法，应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型，并进行了系统的理论分析．导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式，确定了可进行电量测量的实验装置．采用此方法，测量了台面型高压硅半导体器件的无机钝化和有机保护界面的表面复合速率．通过测量结果和计算结果的归一化比较，获得了其表面复合速率．