溶胶-凝胶TiO_2和SiO_2光学膜的结构(英文)

摘要

本文研究了 Ti O2 和 Si O2 溶胶 -凝胶光学膜在低温热处理下的组分、形貌特征、光散射特性 .AES分析结果表明 ,在 Ti O2 膜和 Si O2 膜的交界面处 ,Ti和 Si相互扩散 ,从而证实了在多层膜中 ,膜层之间、膜层和基底之间有Ti-O-Si(或Si-O-Ti,或Si-O-Si)化学键形成 .AES和 ESCA分析结果显示溶胶 -凝胶膜经过低温处理后 C的含量较高 ,这归结为溶胶—凝胶膜的工艺特点 .AFM测试结果显示 ,溶胶—凝胶 Ti O2 光学膜的表面形貌具有显著的柱状结构 ,薄膜表面起伏大约是 7.5 nm.Ti O2 ,Si O2 单层膜的表面散射率随着热处理温度的提高而变大 ,对于不同陈化时间的溶液镀制的膜有不同的表面散率 .