便携式原子力显微镜扫描驱动器的设计与实现

摘要

设计了一种便携式原子力显微镜压电陶瓷管驱动器,该驱动器使用5～12V宽幅直流电源,产生+215V和±15V的电源供给高压放大模块和信号调理模块,可将输入的-10V～+10V控制信号,放大为-200V～+200V的电压驱动压电陶瓷扫描管,功耗仅为2W左右,体积为150mm×60mm,可以使用电池供电并连续工作7～8h。该驱动器是便携式原子力显微镜的一个重要模块,该模块功能的实现使原子力显微镜在工业现场和野外环境进行测量成为可能。