氮化镓及其固溶体薄膜的生长与应用

摘要

介绍ＧａＮ及ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮ等固溶体薄膜的外延生长工艺和应用，尤其是作为蓝色发光二极管（ＬＥＤ）的应用，对生长工艺中存在的一些问题进行了讨论，并分析其应用前景。