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硝酸氧化法制备液晶显示器薄膜晶体管（TFT）

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日本大阪大学小林光教授等人开发成功一项制备TFT的新技术一一硝酸氧化法。该技术的关键在于把硅浸于浓度高于68％的硝酸水溶液中，在低于120℃温度下硝酸分解而产生具有强氧化力的离解氧离子与硅起反应，

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来源
《金属功能材料》 |2011年第3期|49-49|共1页
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正文语种 chi
中图分类 TN321.5;
关键词
硝酸氧化法; 薄膜晶体管; 液晶显示器; 制备; 日本大阪大学; 新技术; TFT; 水溶液;

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