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D07系列质量流量控制器的工作原理

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D07系列质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)是用于对气体的质量流量进行精密测量和控制的仪器.它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.……

著录项

来源
《中国计量》 |2006年第z1期|27-30|共4页
作者
苏乾益;
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作者单位

北京七星华创电子股份有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词

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