电感耦合氩等离子体中电子密度及电子温度的测量

摘要

电子密度n_e和电子温度T_e是描述ICP放电特性的重要参数。本文对ICP中n_e和T_e的测量从理论上进行了探讨,并根据文献提供的数据,经理论计算,分别与电子密度计算有关的两个系数C(n_e,T)和α_(1/2)(n_e,T)进行了扩展并编制成表。作者基于ICP—AES的实际测定条件,对不同操作参数下ICP中轴向电子密度n_e和电子温度T_e进行了测量,其实验结果与文献推荐值一致。