利用CCD实现量块的自动测量

摘要

利用CCD取代接触式干涉仪的光学放大镜接收干涉条纹 ,结合 80 31单片机并通过对干涉条纹移动量的测量 ,实现了对量块的自动测量。测量中以二级量块做标准量块来对三级量块进行测量。测量结果表明测量误差小于 0 1μm。