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竺士炀; 林成鲁;
中国科学院上海冶金研究所;
信息功能材料国家重点实验室;
位错; 密度; SIMOX材料; 薄膜; 单晶硅;
机译:实际降低SIMOX晶片中的位错密度
机译:不对称PS-b-PMMA超薄膜的时间分辨原子力显微镜成像研究:位错和旋错转变,缺陷迁移率和纳米形态的演变
机译:用Blaha效应研究KCl:Sr2 +单晶中位错与杂质的相互作用第二部分位错与杂质之间各种力-距关系的位错与聚集体的相互作用。
机译:通过多能量单次注入降低Simox晶圆中的位错密度
机译:单晶硅化钼的位错和力学性能
机译:Berkovich纳米压痕技术在AlN薄膜中的位错能量和弹入
机译:固体薄膜中错配位错网络中的超位错
机译:正电子湮没对高纯铁变形单晶的位错研究:位错密度的确定
机译:无位错单晶硅的制造方法及无位错单晶硅锭
机译:生产热位错PBX的方法,热位错PBX和薄膜
机译:制备无位错的单晶硅棒,包括连续熔化多晶棒,用单晶种晶接种熔融材料,以及重结晶成单晶棒。
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