钛合金表面反应电火花沉积Ti(CN)涂层研究

摘要

利用自行研制的反应电火花沉积系统,以石墨为电极,以工业氮气为保护气,在TC4钛合金基体上原位反应合成了Ti(CN)金属基陶瓷复合涂层。利用SEM分析了涂层单沉积点表面形貌和组织结构,利用X射线仪测定了涂层的物相组成,利用XPS分析了涂层表面元素组成,利用SEM和AES分析了涂层断面形貌、结合状态和元素组成;结果表明,涂层表面单沉积点形貌呈不规则的"溅射状",涂层主要由呈球块状晶和枝晶的TiC0.51N0.12相、Ti0.80V0.20相和C相组成且晶块平均尺寸为626nm,涂层与基体的结合致密,呈冶金结合。