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微电子学和有关分立器件与材料的发展研究

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本文对功能半导体材料硅、砷化镓、磷化铟材料、硅基和Ⅲ-Ⅴ族基的超晶格量子阱及其新型功能材料(超导、金刚石、多孔硅等)进行介绍分析,提出发展建议和措施.

著录项

来源
《半导体技术》 |1993年第6期|41-46|共6页
作者
黄义贞;
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作者单位

电子部第46研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微电子学; 半导体材料; 分立器件;

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