反应脉冲激光淀积硫化铅膜的SEM和XPS研究

摘要

以扫描电镜（SEM）和X射线光电子能谱（XPS）等多种测试手段研究分析了用反应脉冲激光淀积技术制备的PbS薄膜。分析结果表明，利用该淀积方法可以得到附着力好、符合化学计量比的硫化铅薄膜。在环境气压p＝1．33×103Pa，靶与基片间距d＝20mm，基片温度t＝100℃时淀积膜的质量较好。另外，本文对其淀积机制也作了较为详细的阐述。