含钇螯合物制备及感光性研究

摘要

以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜。研究了这种凝胶膜的紫外、红外光谱特性,发现了在330 nm处有与含钇螯合物相关的吸收峰,这种凝胶薄膜对紫外光具有感光特性,即当紫外光照射薄膜后,含钇螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含钇螯合物分解。伴随着螯合物的分解,薄膜在有机溶剂中的溶解性会发生显著变化,利用这种特性,紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜,用有机溶剂溶洗后获得凝胶薄膜的微细图形;经过600℃热处理30 min,得到了具有立方相氧化钇薄膜的微细图形。