非接触型双功能磁敏旋转传感器的研究

摘要

本文报道了一种非接触型双功能碰敏旋转传感器，能同时测量磁性旋转体的旋转速度和旋转方向。它由利用半导体平面工艺在ＩｎＳｂ单晶片上制成的桥式连结的ＩｎＳｂ电阻和永磁铁构成。分析了旋转传感器的核心敏感元件ＩｎＳｂ磁敏电阻及传感器的电路结构、工作原理。对传感器的特性进行了测量，实验结果符合理论设计。