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张永平; 顾有松; 常香荣; 田中卓; 时东霞; 张秀芳; 袁磊;
北京科技大学材料物理系;
北京科技大学;
中国科学院北京真空物理实验室;
微波等离子体; 化学气相沉积; β-C3N4; 薄膜; 制备;
机译:使用四甲基二硅氧烷前驱体通过远程微波氢等离子体CVD制备碳氧化硅薄膜
机译:乙硅烷前体的远程氢微波等离子体CVD制备a-SiC:H薄膜
机译:通过表面波微波等离子体CVD制备的含氟非晶碳薄膜
机译:在露天中使用微波等离子体CVD的DLC薄膜的制备
机译:类热等离子体放电对金刚石薄膜的微波辅助等离子体CVD
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:微波等离子体CVD法制备纳米碳薄膜及其场发射特性评估
机译:微波等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅晶体薄膜
机译:一种主要尺寸约为所用微波的一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译:一种主要尺寸约为所用微波波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译:一种主要尺寸约为一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
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