氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性

摘要

氧化锌薄膜的透明导电特性与化学计量偏离和溅射条件有关．以2％（质量分数）氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作靶，采用RF磁控溅射技术制备的透明导电薄膜，其电阻率4．5×10－3Ωcm，载流子浓度2．8×1020cm－3，霍尔迁移率15．8cm2／V·s，平均透射率（400～800nm）大于80％．