声表面波器件体波效应抑制理论研究

摘要

针对声表面波器件中体波效应的影响，介绍了叉指换能器激发声体波的机理。根据声体波在基片上的不同传播方式，提出了不同的抑制方法。对在基片表面传播的声体波，利用声体波与声表面波有不同的能量传播角改变接收叉指换能器的位置来抑制体波效应二对在基片体内传播的声体波，则根据其传播和反射原理确定接收叉指换能器的位置来抑制。结果对声表面波器件的设计和工作性能的提高具有指导意义。