基于光纤技术转子表面高精度测量系统的研究

摘要

借助光的波动性,提出一种新转子球表面测量技术,用光强调制式的双光纤传感器作为测量元件,从理论和实验两方面,分析了光纤位移传感器特性,分别给出了传感器实验结果和理论结果。利用该光纤位移传感器进行转子表面微小变化的测量,设计一种适用于转子表面测量的系统其测量精度达到0.005μm,给出转子表面图形绘制法—墨克脱投影法,并给出了本转子的测量表面图。此系统也可以用在其它物理学的尖端表面测量实验中。