提高输出推力的蠕动式微进给定位机构

摘要

蠕动式压电／电致伸缩微进给机构具有在保持高位移分辨率的同时实现大位移行程的特点，但迄今进给刚度和推力较小，以及不连续进给运动的不足之处制约了蠕动机构的实际应用。本文作者研究通过采用柔性铰链构成的周向分布式杠杆箝位机构的设计，研制出一种提高轴向刚度和输出推力的蠕动式压电／电致伸缩微进给机构，并进行了机构性能的初步测试。