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丁辛芳; 何云爽; 史建伟;
东南大学微电子中心;
亚微米; 硅尖端传感器; 悬臂梁; 热电偶;
机译:亚微米级表面沟槽框架,用于定义硅MEMS共振化学传感器上敏感层的涂层区域
机译:SiO_2涂层的Pt_(90)Ir_(10)尖端的X射线纳米断层扫描,具有亚微米级导电尖端
机译:在硅基板上的微米级凹进图案内填充亚微米级聚苯乙烯颗粒
机译:基于与CMOS电路单片集成的亚微米级谐振硅悬臂阵列的传感器
机译:质子交换铌酸锂和亚微米级绝缘体上硅金属氧化物半导体场效应晶体管的共线声光相互作用。
机译:亚微米级的填充方案:亚微米级等离子彩色滤光片的开发
机译:Nanoworkbench的开发和性能:一种四尖端sTm 电导率测量低至亚微米级
机译:从微米级到纳米级的近裂纹尖端可塑性的建模和表征。
机译:利用激光脉冲帮助在硅晶体中通过直径的直径建立亚微米级和亚微米级的微通道的方法
机译:获得的亚微米级粉末和亚微米级粉末硅的制造装置和方法
机译:具有亚微米级开口的用于制造亚微米级网格的掩模的制造方法以及亚微米级网格
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