MEMS超声分离腔二维简正模式谐振频率的研究

摘要

以基于二维简正模式的微机电系统(MEMS)超声分离器的结构模型为研究对象,首先根据声电类比原理,得到超声分离腔的二维等效电路模型,通过该模型分析计算二维简正模式的谐振频率;接着通过Ansys软件对MEMS超声分离器进行有限元的仿真分析,验证了等效电路模型的可行性,并得到了最佳激发频率;最后在实验中分别采用单片PZT激发(2,1)阶和双片反相位PZT激发(1,1)阶的简正模式,均取得了一定分离的效果。