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宋亦旭; 王健发; 杨开明; 尹文生; 朱煜; 贾培发;
清华大学智能技术与系统国家重点实验室;
清华大学精密仪器与机械学系;
叠层台; 粗精控制; 轨迹跟踪;
机译:高速,高精度直线运动的双级控制系统
机译:直线运动设备LM导轨超低波动,高刚性包括球保持架高速,高精度
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