硅微透镜阵列

摘要

采用融熔法制备球冠形的光致抗蚀剂掩膜，用离子束刻蚀实现球冠形向硅片上转移，有效地在较低衬底温度下（低于２００℃）制备出了硅微透镜阵列。通过扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针实验证实了微透镜为球冠形。