真空高温环境下AlN的热力学行为分析

摘要

利用热力学中经典的ΔGT<0判定法,探讨了在真空高温条件下AlN的热力学稳定性。热力学计算结果表明:在标准状态下AlN的分解温度为2708 K;真空度为10-1Pa、10-2Pa、10-3Pa时,AlN的热分解温度分别为1556 K,1454 K和1365 K;AlN的稳定性随着真空度的上升而下降,该结果为在真空高温环境下使用AlN材料提供了一定的参考。