Si薄膜介电函数的椭偏光谱分析

摘要

椭圆偏振光谱法(简称椭偏法)是一种常见的薄膜光学参数测试方法,具有灵敏度高、测试精度高且对测试样品无损伤等优点。首先系统介绍了有效介质近似(EMA)理论模型的基本原理,在此基础上,采用EMA模型对制备的Si薄膜样品的椭偏光谱测试结果进行了计算机拟合。结果表明,当设定样品结构为多晶、非晶和孔隙的混合物时,计算结果与测试数据完全吻合,由此得到了样品的微观结构信息。